電子材料・半導体・部品向け直交型CTシステム(オプション)
μCTオプションは、ノードソン・デイジ社製X線検査装置にオプションとして装着することができます。ノードソン・デイジ社の高分解能X線検査装置を使用した品質の高い2D画像データをもとにしているため、CTにおいても解像度が高く、撮像エリア内での3D解析や断面スライス評価、内部計測を行えます。三次元CTにより内部の欠陥位置を把握できるため、マイクロセクションによる解析作業が不要になったり、マイクロセクションが必要な場所や解析に必要なポイントを正確に把握することができます。μCTシステムはX線装置本体システムとご一緒に、もしくは後付オプションとしてご活用頂けます。
μCTオプションは、ノードソン・デイジ社製X線検査装置にオプションとして装着することができます。ノードソン・デイジ社の高分解能X線検査装置を使用した品質の高い2D画像データをもとにしているため、CTにおいても解像度が高く、撮像エリア内での3D解析や断面スライス評価、内部計測を行えます。三次元CTにより内部の欠陥位置を把握できるため、マイクロセクションによる解析作業が不要になったり、マイクロセクションが必要な場所や解析に必要なポイントを正確に把握することができます。μCTシステムはX線装置本体システムとご一緒に、もしくは後付オプションとしてご活用頂けます。
本機の特徴
・情報量の多い直交型CTを採用
・X線透視から三次元CTへの切り替えが簡単に可能
・検出器はイメージインテンシファイア管とフラットパネルディテクタ両方に対応
・高性能なハードウェア(PC+グラフィックユーザーインターフェース)の採用により、高速にCT画像を構築することが可能
・512・1024・2048ボクセルでの画像構築
・任意の箇所・角度での断面スライス画像の取得
・'Quick View’機能を使って高速でCTデータを取得できます。
・CTスキャン及びビューアソフトウェア
・最大サンプルサイズ150x135mm
・最大検査範囲44x34mm(I.I.)
・最大検査範囲60x45mm(FPD)
・コーンビームCT採用によるCT画像の構築
・画像取得枚数90~7,200毎まで設定可能
・高精度サンプル回転ステージ採用