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ノードソン・アドバンスト・テクノロジーとは
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技術紹介

X線検査装置

製品名大型基板向けX線検査装置
型番XD7800NT Ruby XL
オプション・X-Plane™(斜めCT)
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この商品について

大型サンプルおよび大型基板向けサブミクロンフォーカスX線検査装置

XD7800NT Ruby XLは大型基板用途としてお客様のニーズにより生まれました。最新の検出器2.0MピクセルXiDAT3イメージインテンシファイアX線検出器を搭載し、高倍率時でも高解像度の画像を表示することができます。またX線源にメンテナンス性に優れたシールド・トランスミッシブ型X線発生器を搭載し、0.5ミクロンの認識解像度と10WのX線出力を実現しました。本機は操作性に優れたユーザーインターフェースを採用し、マウスですべての操作が可能となっており、プログラムの経験がなくても簡単に検査を自動化することができます。

本機の特徴
・ノードソン・デイジ社製メンテフリー仕様、シールド・トランスミッシブ管X線発生器 『NT500型』搭載
・認識解像度 < 0.5μm
・管電圧30-160kV、最大出力10W
・XiDAT3世代 2.0MデジタルI.I.検出器搭載
・最大幾何学倍率1,800培
*3倍デジタルズーム機能付
・大型テーブル964x672mmを採用
・最大サンプル重量10kg、最大サンプル高さ210mmまで対応
・X線検出器をMax70°傾動、観察ポイントを中心に360°方向から観察可能
・マッピング機能を使って観察位置を指定、オートトラッキング機能により目標位置をずらさず観察可
・サンプル自体(テーブル)を回転させないため、人間目線でスムースに観察ポイントに到達できます
・エアーによる防振機構(AXiS)を標準装備
・24インチモニター×2(デュアルモニターシステム)

オプション
・X-Plane™(斜めCT)

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