大型サンプルおよび大型基板向けサブミクロンフォーカスX線検査装置
X線検査装置XD7800NT Ruby XLは独自のメンテナンスフリーシールドトランスミッシブNT管を採用し、0.5 µmの認識解像度と最大20W出力のターゲットパワーがあり、且つ3Mピクセルの長寿命CMOSフラットパネルを搭載しております。この装置は生産環境で必要とされるすべての故障解析と生産タスクをカバー致します。
本機の特徴
・ノードソン製メンテフリー仕様、シールド・トランスミッシブ管X線発生器搭載を搭載
・認識解像度 < 0.5μm
・管電圧30-160kV、最大出力20W
・Aspireフラットパネル 3.0MP 搭載
・最大幾何学倍率1,800培
・大型テーブル & 最大検査エリア:840x615mm
・最大サンプル重量10kg、最大サンプル高さ210mmまで対応
・X線検出器をMax70°傾動、観察ポイントを中心に360°方向から観察可能
・マッピング機能を使って観察位置を指定、オートトラッキング機能により目標位置をずらさず観察可
・サンプル自体(テーブル)を回転させないため、人間目線でスムースに観察ポイントに到達できます
・エアーによる防振機構(AXiS)を標準装備
・24インチモニター×2(デュアルモニターシステム)*標準仕様
オプション
・X-Plane™(斜めCT)
・ジョイスティック
・バーコードリーダー