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ノードソン・アドバンスト・テクノロジーとは
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技術紹介

プラズマ処理洗浄システム

製品名APシリース バッチ式プラズマ処理装置
型番AP1000
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この商品について

最も厳しい生産環境に適した均一なプラズマ処理

本機の特徴
ノードソン・マーチ社システムのAP-1000プラズマ処理システムは24時間運転に伴う厳しい要求にこたえるように設計されています。このシステムは金一なプラズマ処理を提供します。そしてその信頼性と安全性、操作のしやすさは他の追随を許しません。AP-1000のプラットフォームは完全自給式で、設置面積も最小レベルです。1台のボディー内にポンプ・チャンバ・制御電子系および13.56MHz電源を収納しています。フル・フロント・アクセスであるため、メンテナンス時には前面から内部コンポーネントすべてに簡単に手が届きます。ポンプは容易に取り出せるようローラーの上に置かれています。プラズマ・チャンバは耐久性に優れた11-ゲージのステンレス製で、アルミ製固定金具が装着されています。このチャンバには脱着式で調整可能なシェルフ(棚)が複数台設けられていて、マガジン・トレイ・ウェーハ・アウアー・ボードなど様々なパーツ・キャリアを収納することができます。

◆利点◆
・PLCコントローラはタッチ・スクリーン式で直感性に優れた操作が行えるグラフィック・インターフェースを提供し、リアル・タイムでプロセスを表示します。
・柔軟性に富んだシェルフ構造により、ダイレクト・プラズマとダウンストリーム・プラズマのいずれのモードにおいても様々なパーツ・キャリアに対応することが可能です。
・3.56MHz電源には自動インピーダンス・マッチングがあり、他に例を見ないプロセス再現性を実現します。
・ノードソン・マーチ独自のソフトウェア制御システムが統計プロセス管理用のプロセス・データと生産データを生成します。


AP-1000 HTO構成
マガジン数 最大マガジンサイズ
  6 >>> 105 x 278 x 216 mm
  8 >>> 70 x 143 x 205 mm
  12>>> 105 x 139 x 216 mm