インラインタイプ

製品名	AW300 Series C-SAM
型番	AW300

AWシリーズは、ウェーハ用途のために設計された完全自動化されたC-SAMシステムである。ボンドウェーハ用途(SOI, MEMS, LED, 2.5D & 3D)の評価のために最大感度と高スループットを実現した。AWシリーズは、2つのウェーハ間のボンドおよび直径が５ミクロン未満の特徴、および２００オングストロームという薄さのウェーハ間の剥離を検出することができる。2つ以上の走査ヘッド、ステージングステーションおよび乾燥ステーションにより、AWは、前に走査されたウェーハを乾燥させながら、2つ目のウェーハを効率よくに走査できるように設計されています。