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ノードソン・アドバンスト・テクノロジーとは
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HDD

製品名AW300 Series C-SAM
型番AW300
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この商品について

AWシリーズは、ウェーハ用途のために設計された完全自動化されたC-SAMシステムである。ボンドウェーハ用途(SOI, MEMS, LED, 2.5D & 3D)の評価のために最大感度と高スループットを実現した。AWシリーズは、2つのウェーハ間のボンドおよび直径が5ミクロン未満の特徴、および200オングストロームという薄さのウェーハ間の剥離を検出することができる。2つ以上の走査ヘッド、ステージングステーションおよび乾燥ステーションにより、AWは、前に走査されたウェーハを乾燥させながら、2つ目のウェーハを効率よくに走査できるように設計されています。