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ノードソン・アドバンスト・テクノロジーとは
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ウエハー

製品名ウェハ専用ボンドテスター
型番4800 Integra
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この商品について

4800 Integraは、300mm/200mm(最大450mm)ウェハに対応した、フルオートウェハ専用ボンドテスターです。

本機の特長
 ◆オペレーターフリー
 ◆XYステージは、広範囲(X:550mm Y:410mm)&高速(50mm/s)&高精細(リニアエンコーダー)
 ◆ウェハマッピング機能でパターンオート取り込み
 ◆フィデューシャル専用「アライメントカメラ」、破断モード確認用「イメージキャプチャ」標準搭載
 ◆回転式ロードセルMFC(ボールシェア、ボールプル)に対応
 ◆テスト後バンプを回収する「デブリスリムーバブルキット」(シェア用)、「デブリスステーション」(プル用)有
 ◆EFEM ウェハハンドラー(2ポート)対応
 ◆SECS/GEM対応, OHT対応, FFU対応, CCTV録画有
 ◆ウェハJustifier対応→反りのあるウェハを吸着させるツール
 ◆ライトカーテン、インターロック有

4800 Integra ご紹介ビデオ(You Tube)

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